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超薄、大尺寸、高硅钢片电子束物理气相沉积制备方法
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赫晓东，李垚，李晓等，超薄、大尺寸、高硅钢片电子束物理气相沉积制备方法. 国家发明专利，2006，专利号：ZL200610009613.7
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